完美体育完美体育完美体育完美体育完美体育随着电子元器件及其工艺、材料的迅速发展，电子精密机械设备逐代演变，已由当初生产白炽灯泡、电子管等电真空专用机械设备，发展至当今仝自动、高效率的半导体大规模和超大规模集成电路精密机械专用设备。这类设备的特点是：技术密集，需要的专业面和知识面广，涉及机、电、光、真空、物理、化学等领域；它品种多、数量少、更新快。在技术先进的国家中，半导体集成电路专用设备的更新周期大约为2～3年，所以有人认为集成电路工业的竞争，实质上是专用设备工业的竞争。可见专用设备在电子工业生产中所起的重要作用。

　　电子精密机械设备伴随电子元器件的发展而发展，而电子元器件及其工艺的研究开发又要有专用设备与之紧密配合，例如，要研制线 Um，甚至亚微米数量级的超大规模集成电路，没有高精密、高可靠的制版、光刻设备是无法实现的；而要保证电子元器件在质量上和数量上充分满足市场需要，没有能适应工业化大生产的全自动、高效率的专用设备和自动化生产线也是不可能的。由此可见，在电子元器件的生产中，产品一工艺一专用设备之间是相互依赖而又相互促进的，而其中专用设备又起着十分关键的作用。

　　科学技术的发展，以及电子元器件本身的发展，尤其是半导体集成电路的迅速发展，促进了专用设备的迅速发展，其发展方向是提高精度、提高自动化程度和生产效率。自动化不仅意味着实现单机自动化，而且要卖现整条生产线或分段生产线的生产自动化。如已应用于生产中的彩色显像管阴罩自动生产线、集成电路光刻自动线、封装自动线、内引线焊接机的群控系统等。计算机控制、检测显示等技术已广泛应用于光刻、制版、测试、硅片分选等设备上，这就使设备的自动化水平和可靠性提高到了一个新水平。

　　微电子机械的发展是电子精密机械的代表性成就。微电子机械技术已跻身于世界十大科技之列，是21世纪的核心技术。相对传统机械而言，微型机械具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点。应当强调的是，微型机械并不是传统机械的简单微型化，而是基于现代科学技术在一种崭新的思维方式指导下的产物，它远远超出了传统机械的概念和范畴，微型机械在尺寸、结构、材料、制造方法和工作原理等方面，都与传统机械截然不同，因而微型机械学的学科基础、研究内容和研究手段等也与传统机械学不同，而且有其独特的学科系统，构成一门新的学科。从精密外科手术仪器到微光学元件，都是微电子机械潜在的应用范围。利用微电子材料和工艺可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及微电机，微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀。这些机械元件的大小要用微米来计算。并且像半导体工业一样，一次能制造出数百万个元件。