荏原的精密电子事业公司是真空技术和平坦化技术的领军企业，为行业最先进的技术制造现场提供支撑。荏原向全球供应半导体制造不可或缺的CMP装置以及干完美体育式真空泵、废气处理装置、臭氧水生产装置等各种产品。这些产品通过高性完美体育能、高可靠性和令人放心的技术支持体制，在众多领域得到了使用。除了半导体领域以外，在化学、医药、其他制完美体育造业和研究开发用途方面，荏原制作所的产品同样大放光彩。

　　半导体技术为日常生活不可或缺的各类设备提供支持。荏原产品应用于半导体生产不可或缺的各种制造工艺当中。荏原的乾式真空泵運用於半導體製造中不可或缺的各項製造工程，如成膜、蝕刻、注入離子等。

　　荏原的干式真空泵与质量分析仪、气相色谱分析仪、电子显微镜等各种各样的分析仪器一起大显身手。

　　泄漏检查应用于密封容器的泄漏检查中，如医药品封装、空调设备等。荏原的干式真空泵有助于提高上述密封容器的质量。

　　涂覆广泛应用于工业产品、服饰和光学零部件等各种不同领域。形成高质量涂层时，荏原的干式真空泵大显身手。

　　非接触结构的干式真空泵对于构建洁净的真空环境来说不可或缺。荏原的干式真空泵在半导体制造工艺等各个领域大显身手。

　　生产精密的高度集完美体育成化半导体生产不可或缺的高吞吐量CMP装置、具有高度研磨性能完美体育的斜面研磨装置以及结构灵活的电镀装置。荏原向全球主要半导体厂商供应半导体生产装置。

　　废气处理装置是对导致氟化温室气体（PFCs）、有毒气体、VOC等制造工艺中发生的有毒气体进行无毒化处理，并排放到大气中的净化装置。荏原的废气处理装置还能够高效处理难以进行净化处理的PFCs气体。

　　臭氧水是将臭氧（Osub3/sub）溶解到水中而制成的，具有强大的氧化力。荏原的臭氧水生产装置能够生成高浓度且浓度非常稳定的臭氧水，有助于提高处理效率、提高洁净度。