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清华大学精密仪器系“研精究微”学生海外实践支队近日前往大塚电子株式会社位于滋贺县的生产工厂参观交流。清华大学精密仪器系是我国历史最悠久的工程学科院系之一,全系十分重视开展国内外学术交流,和国外许多著名大学和研究机构保持着密切的联系和合作。此次交流由大塚电子(苏州)有限公司张俊和张慧带队,清华大学一行到达滋贺县后,首先由大塚电子工厂长对我司作简要介绍。随后由我司工厂工作人员带领下到各实验室进行参观。参观结束后,我司员工与清华大学的同学们共进午餐,我司厂长与领队分别致辞。在进餐过程中,双方从技术到生活进行了十分愉快的讨论,我司张慧全程陪同翻译。午宴结束后,双方分别作离别致辞。
三英精密慕尼黑华南电子展收获满满时间:2020-11-17发布者:三英精密金秋11月,慕展首次将electronica品牌带至深圳,在华南地区首次开创新品牌展——慕尼黑华南电子展(electronicaSouthChina)。展会立足粤港澳大湾区,辐射华南、西南及东南亚市场,聚焦5G、物联网、蓝牙技术、汽车、工业电子、可穿戴、消费电子、智能家居等热门技术和应用。650余家国内外优质企业,38,693名行业优质买家及精英共享此次电子盛会。经过多年的发展,三英精密已经成为了工业CT检测设备行业内专业化、规模化、影响力广泛的公司,正是行业与企业的高度信赖与期待,促成了我们近年来的高速发展。因此,今年我们加大了对电子行业的技术研究投入,进一步为电子行业助力,感谢来到我们展位的每一位需求方、合作方、媒体及业内专家为我们带来的支持与鼓励!首届慕尼黑华南电子展的成功参加给予了我们信心,通过更深入的交流学习及系统集成方案的展示,更直观地为我们的目标客户群、企业及观众提供更多的创新产品和有针对性的优质解决方案,我们将为大家创造更多惊喜。展会观众的专业度很高,基于我们新产品的上市计划,我们明年还会继续参加上海、深圳慕尼黑电子展,也希望更多的朋友能更多关注我们的产品,关注三英精密。我们将继续积极推动工业CT检测设备行业的创新发展,助力提升行业的创新能力,为蓬勃发展的电子产业带来创新与活力!
小米发家历程颇具传奇色彩,可谓“质疑与销量齐飞,唱衰共成长一色”。小米从质量、外观、价格到专利支撑、市场占有率都有人提反对意见,唯一被认可并一直被模仿的是营销手段。然而,任何一款产品仅靠营销都不可能发展长远,小米越做越红火,营销只是手段,严密的知产保护体系才是保障。那么,小米壮大之路又能给广大从事电子产品、精密仪器行业的企业哪些启示呢?请随中细软集团小知一同来看!市场未动商标先行小米全类别注册商标小米能有今天的风光,雷军功不可没。中细软集团小知通过一篇报道发现,他是个极有“情怀”之人。小米联合创始人王川在接受采访时表示,雷总说他不是要做一家手机公司,而是做小米style,小米生活,用一点点小才华,让亿万人的生活好一点。这句话很令人动容,且不论雷军的真实想法是想让亿万人生活好一点还是扩张商业版图,要做“小米生活”的决心倒是真的。目前,小米曝出的专利涉及智能手机、电视、饮水机、汽车、、智能穿戴设备、智能家居等多个领域,为进军其他领域提供了技术支撑和商业可能性。然而,比起小米科技在专利上的进展,其对商标的保护显然更游刃有余。小知通过专业的知识产权管理软件知库宝查询得知,小米科技在45个类别下共注册商标一千余个,不仅注册了“小米”商标,也注册了其近似商标进行防御。其中,与小米科技目前主营业务联系最为紧密的第9类别(科学仪器、通讯设备等),注册商标多达两百多个,不仅包括小米商标及其近似商标,还包括多个能让人联想到“小米”的商标。看完小米科技对商标严密的保护制度,小知只想说两个字“佩服”!商标全类别注册有利于企业拓展业务范围,也有利于把牌子做大做强。有一句话叫“市场未动商标先行”,说的就是商标对于企业拓展市场的重要性。没有商标的“认证”,产品得不到消费者信任,更遑论企业业务的发展。商标是商业主体用于商品之上的,便于消费者“认牌”购物的标志。企业提前做好了商标全类别注册,就能在不同领域的商品上贴着同样的商标,展现企业实力的同时增强消费者信心,扩大市场影响力的同时增强企业知名度。企业在进行宣传时,通常将企业、商品、商标联合起来,也是为了令消费者形成系统的印象。商标全类别注册还能杜绝“傍名牌”现象的发生,就像前一段时间的“小米控告小米e贷商标侵权”事件,就是极好的例子。大企业品牌有着广泛知名度,虽然其业务专注于某些领域,但对于消费者来说,品牌知名度的效用足以延伸到其他领域。所谓“大树底下好乘凉”,大企业如果不提前对商标进行全类别注册,很有可能被其他企业钻了空子,抢注其他类别下的商标,彼时借企业品牌之声望进行宣传,是谁也无可奈何之事。商标全类别注册的重要性可见一斑,然而,并非每家企业都想如雷军一样做“小米生活”,很多企业只是专注于某一领域产品的生产。那么,对于从事精密仪器设备行业的企业来说,都需要注册哪些类别的商标呢?中细软集团专家建议您除了在第9类注册商标外,还要在第35类(广告服务)、第37类(电子设备维修)、第38类(通讯服务)、第40类(电子产品加工)、第42类(计算机软件)等类别下注册商标。摆脱招黑体质专利才是核心竞争力商标全类别注册能有效保护企业品牌价值,然而,要赢得市场仅靠商标保护是不够的。就小米的发家之路来说,营销手段固然能促进产品销量,但维持市场占有率及口碑则需要过硬的质量支撑。小米手机之所以成为“招黑”体质,很大程度上就是由缺乏核心技术造成的。从事通讯行业的企业热衷于报道企业掌握的专利数量、新增专利数量、专利增长率及涉足行业等信息。这些信息表面上只与“专利”有关,实则是在向外界宣布企业实力,也是在增强消费者对其产品质量的信心。专利是企业的核心竞争力,对从事通讯行业的企业来说,尤其如此。专利是受法律规范保护的发明创造,包括发明专利、实用新型专利和外观设计专利三种类型。对产品新技术方案、产品形状及结构、产品形状及图案等方面进行了全方位的保护。因此,专利数量能很好的代表一个企业的创新能力及技术实力,企业想在市场竞争中争取主动,不注重专利技术的研发是万万不行的。专利的重要性不仅体现在增强企业实力上,也体现在法律对其专利成果的保护上。《专利法》规定,发明创造被授予专利权后,未经专利权人许可,任何单位和个人不得擅自实施该专利。想要实施他人专利而不侵权,就应当与专利权人订立实施许可合同,向专利权人支付专利使用费。专利独占性保障了企业科研成果不被窃取,也保障了企业合法权益遭受侵时能第一时间拿起法律武器维护自身权益。说起来,小米没少吃“专利战”的亏,华为、中兴、爱立信皆以“专利侵权”的名义对小米发起攻势,能否在市场竞争日渐激烈的国产手机市场中挺到最后,还需要看各自的专利身家如何。国内市场,小米因专利问题被唱衰 国际市场,小米因专利纠纷铩羽而归。小米虽头顶400亿美元估值和BATM新冠,但连续曝出的专利风险也令其狼狈不已。然而,雷军表示,专利战是小米成人礼,小米已经做好了不追求短期盈利的目标,培养用户忠诚度和口碑。小米能在市场上走多远,拼到最后是拼其创新能力。从小米的例子可以看出,从事精密仪器设备生产的企业想要在市场上取得长远发展,不仅需要加强商标保护,也需要重视科学技术的研究及相关专利的申请。
近日,致真精密仪器(青岛)有限公司(以下简称“致真精密仪器”)已完成千万级天使轮融资,方为青岛微电子创新中心有限公司,募集资金主要用于新产品研发、人才团队建设、市场开拓以及知识产权保护等业务。致线年,是北京航空航天大学集成电路学院和北京航空航天大学青岛研究院孵化的高科技公司。主要业务为微电子领域测试设备的研发制造和销售,包括磁性芯片产线测试设备和高端科研仪器,致力于解决科研和产业中,尤其是磁性芯片研发领域的卡脖子的、国内尚未解决的仪器设备方面的难题。致真精密仪器官网显示,依托北航集成电路学院和北航青岛研究院,公司于2020年研发出国内首台商业化高分辨率磁光克尔成像综合测试系统并推向市场。并相继研发完成高精度磁滞回线测量仪、晶圆级磁场探针台、晶圆磁性成像系统等多款高科技产品,已与清华大学、中国科学院物理研究所等建立了密切的合作关系。
作为任课教师,他注重教学内容的更新与教学方法的改革 作为学院&ldquo 一把手&rdquo ,他坚持改革创新教育理念,全方位搭建人才培养平台。他就是全国教育系统先进工作者、天津大学精密仪器与光电子学院院长曾周末。52岁的曾周末拥有的众多头衔和荣誉,比如教育部高等学校仪器类专业教学指导委员会主任、中国仪器仪表学会理事,获得过国家科技进步二等奖、省部级教学成果一等奖等等。而他最在乎的还是2008年获得的天津大学首届&ldquo 我心目中的好导师(十佳)&rdquo 这个荣誉。得到学生的尊重和好评,是曾周末&ldquo 教书育人&rdquo 最大的收获。学生周南说,曾老师擅长将枯燥抽象的学科内容与日常生活相联系,轻松幽默的授课方式能激发学生的学习兴趣。周南:&ldquo 在《信号与系统》那门课中,公式和理论很多,难理解,曾老师一上课就问:电影中汽车的轮子为什么往后转?他就先给我们放个影片片段,把这些生活中经常遇到的、但从来没有想过的现象提出来,那学完这节课,你马上就知道答案,非常吸引人。虽然有时候跟曾老师学习很苦、很累,但收获很大,这才是真正的研究型大学教学。&rdquo &ldquo 相比国外一流大学的学生,我们不少学生存在着学习动力不足、学习时间投入不够的问题。&rdquo 曾周末认为,这与教师精力分配不合理、教学投入不足相关,而这背后更深层次的原因,应该是当前的评价导向和评价方法出了问题。作为国家教育体制改革的17个试点学院之一,曾周末坚持问题导向,带领全院师生引入&ldquo 主动实践&rdquo 理念。曾周末:&ldquo 我们推出了课程质量提升计划,一是细化教学环节的质量标准和要求,提高学习挑战度,强化师生互动,重视实践能力训练 二是加大激励力度,让倾心投入教学的老师不吃亏,激发教师队伍活力 三是针对教学评价这一难点,我们转换视角,通过学生对自己学习收获的评价来评估教学效果。&rdquo 科研是教学的基础与保证。曾周末在繁重的教学与管理工作之外,先后承担国家自然科学基金、科技部重大专项等30多个科研任务。比如,他们研制成功我国第一套原油长输管道泄漏检测系统,安装应用到我国16000多公里的石油管道上,经济效益超过十亿元。曾周末说:&ldquo 以前是人工查,效率非常低,我们做的这个系统,依赖管道两端的传感器来感受泄漏的信号,把这变成自动诊断的系统,就知道发生泄漏的地方,对它进行定位,精度达到2%,准确率超过95%。&rdquo 作为国民经济的&ldquo 倍增器&rdquo ,高端仪器行业能带动、影响加工制造等相关产业15倍左右的产值,推动作用巨大 然而,我国食品安全、环境监测分析仪等高端仪器90%以上依靠进口,面对这样的现实,曾周末等专家如鲠在喉、倍感压力,而这正是改革的动力,他们坚信唯有不断改革,才能从根本上改变这一局面。2014年6月,曾周末积极协调,联合清华大学、中国计量科学研究院等8家单位,成立测量科学与高端仪器协同创新中心,将国内仪器专业领域的优秀人才聚集起来,明确研究方向,集中力量,攻坚克难。曾周末说:&ldquo 这个协同创新中心成立后,聚集了国内近百位尖端人才,它的牵引作用非常大的。像叶生华院士带领的团队做的《室内空间测量定位系统》开发工作,现在就是世界水平的。比如飞机、汽车这类超大尺寸对象的测量工作,以前都是国外企业垄断,现在我们通过协同创新,集中优势,开发自己产品,国外名牌公司用14天测的数据用不了,我们半天就能完成,性能达到世界先进水平。&rdquo 作为教育改革者,如何承担起历史和时代所赋予的重任?在全球坐标体系中谋划发展呢?曾周末有着自己的思考。曾周末:&ldquo 改革的核心还是理念的问题,要有创新性就要具有比较强的批判精神,我们的老师要适应这种需求,通过我们的努力,让学生具有这种能力,才可能面对社会挑战!改革还在进行时,我们还面临着理念和体制方面的障碍。但国家正进行教育领域综合改革以解决这些问题,我们对中国高等教育的未来有信心,对建设中国特色的世界一流大学有信心!&rdquo (
近日,岛津制作所精密电子万能材料试验机“AUTOGRAPHAGX-V系列”获得了“iFDESIGNAWARD2020”大奖。该奖项是授予卓越工业设计的国际权威设计奖项之一,主办方为总部设在德国汉诺威的iFInternationalForumDesignGmbH。本年度共有来自全球56个国家的7298件产品参赛,本产品获得了产品类奖项。这是继去年四极杆飞行时间质谱仪“LCMS-9030”之后的再次获奖。颁奖典礼将于5月4日在德国柏林举行。德国iFDESIGNAWARD、红点与日本GoodDesignAward、美国Idea并列世界四大设计奖项。除本次的“iFDESIGNAWARD2020”大奖以外,岛津制作所精密电子万能材料试验机“AUTOGRAPHAGX-V系列”于2019年还获得了“日本优良设计大奖”——GoodDesignAward。精密电子万能材料试验机“AutographAGX-V系列”给人一种坚固耐用的印象,能让人切实感受到踏实感和可靠性。易操作界面、语音向导操作指南以及防护罩,改进后无论是谁都可以轻松、安全地进行操作。可以说是一款追求未来、理想的设计产品。
近日,中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员高克林、管桦实验团队与研究员史庭云理论团队,联合加拿大新不伦瑞克大学教授严宗朝、加拿大温莎大学教授G. W. F. Drake、海南大学教授钟振祥、浙江理工大学讲师戚晓秋等实验团队,在少电子原子体系——锂离子精密谱研究中取得重要进展。该研究将6Li+离子23S和23P态超精细结构劈裂的测量精度提高至10kHz水平,并精确确定了6Li原子核的电磁分布半径(Zemach半径)。这一基于原子精密光谱的工作独立于原子核模型,为揭示锂原子核结构、特别是6Li核的奇特性质以及检验相关的核结构模型提供了重要依据。该工作将进一步促进Li+离子精密光谱的实验和理论研究,推动少核子体系核结构理论与实验的开展。少电子原子体系(如氢、氦原子以及类氢、类氦离子等)精密谱的实验与理论研究在检验束缚态QED理论、确定精细结构常数、获取原子核结构信息以及探索超越标准模型的新物理中颇具应用价值,是当前精密测量物理的重点方向。高克林、管桦实验团队与史庭云理论团队等合作,开展类氦锂离子精密谱研究已逾十年。该团队基于电子碰撞电离方案研制了一台亚稳态Li+离子束源装置,各项性能指标(束流强度、发散角、稳定度等)均达到同类装置较高水平。该研究利用该装置产生的离子束,采用饱和荧光光谱测量方法精确确定了7Li+离子23S1和23PJ能级的精细结构和超精细结构劈裂,不确定度小于100kHz。该团队将实验与理论相结合,精确确定了7Li原子核的Zemach半径。在饱和荧光光谱方法中,该研究受制于谱线的渡越时间展宽,得到的兰姆凹陷线MHz,大于谱线MHz),由此得到的测量结果具有较大的统计不确定度。为了进一步提高测量精度,该工作利用三驻波场光学Ramsey技术消除谱线的渡越时间展宽,获得线MHz的Ramsey干涉条纹,统计不确定度减小至kHz量级;通过抑制量子干涉效应、一阶多普勒效应、二阶多普勒效应、Zeeman效应以及激光功率等各项系统误差,实现了10kHz精度的6Li+离子23S1和23PJ能级的超精细结构劈裂。该超精细结构劈裂的测量精度较先前结果提高5~50倍。在理论方面,该团队计算了包括高阶量子电动力学(QED)效应在内的6,7Li+离子23S和23P态超精细劈裂。该研究包含完整的mα6阶相对论和辐射修正,理论精度较先前结果有所提升,且理论与实验符合程度较好。科研人员通过比较6,7Li+离子的理论计算和实验测量值,得到6Li和7Li原子核的Zemach半径分别为2.44(2)fm和3.38(3)fm,确认了7Li的核Zemach半径比6Li的大40%这一反常现象,并发现了由6Li+的23S态超精细劈裂确定的Zemach半径与核物理方法得到的值3.71(16)fm存在显著差异,表明6Li核可能具有反常的核结构。该成果将进一步推动更多相关理论和实验的发展。相关研究成果发表在《物理评论快报》(Physical Review Letters)上。研究工作得到国家自然科学基金、中国科学院战略性先导科技专项、中国科学院青年创新促进会和中国科学院稳定支持基础研究领域青年团队计划等的支持。锂离子Ramsey光谱测量
百舸争流千帆竞,乘风破浪正当时。7月18日上午天津高端精密仪器产业园启动仪式顺利举行,作为天津首家以精密仪器、传感器以及工业过程控制为主题的专业化园区正式启动。天津市津南区副区长胡永梅、天津大学校长助理刘宁、天津大学精密仪器与光电子工程学院院长曾周末、津南开发区管委会主任张国艳、区政府办、区科技局、区工信局、区人社局、区合作交流办及行业协会、学会、基金机构、银行机构以及企业家朋友近百人齐聚津南,共同见证项目启动。启动仪式现场首先天津高端精密仪器产业园总经理李明山介绍项目整体情况。李明山表示:天津高端精密仪器产业园历时两年的策划,先后经历行业研究,企业调研,走进天津大学拜师求艺,走进行业企业学习请教,于2021年4月份与天津大学精密仪器学院与光电子工程学院、津南区开发区管委会正式签署战略合作协议,确定在天津共同打造“精密仪器、传感器以及工业过程控制”产业聚集,促进相关科技成果转化落地,共同推进建设“天津高端精密仪器产业园”。园区已经于2022年6月26日正式开工建设,预计在2023年10月份交付投入使用。天津高端精密仪器产业园总经理李明山致辞其次,与天津市国防科技工业协会、天津市智能制造装备产业协会、天津市仪器仪表学会达成合作,分别确定产业主题和行业服务内容,并在启动仪式上现场进行了揭牌。天津市智能制造装备产业协会授牌:“高端精密仪器专业委员会”;天津国防科技工业协会授牌:“高端精密仪器制造基地”;天津市仪器仪表学会授牌:“工业过程控制装备专业委员会”。图为协会授牌仪式与多支基金探讨合作,首先与科创天使达成共识,未来共同推进“精密仪器、传感器”相关产业主题基金的成立。图为与科创天使签约与银行机构互动,分别与浙商银行、兴业银行、建设银行、农商银行达成园区服务合作,最终构建了较为完善的园区开发、招商、运营体系。图为与合作银行签约未来园区将串联全市和津南区“产、学、研、用、政、金、介”等优势,最终构建较为完善的园区开发、招商、运营体系,合力推进天津市高端精密仪器产业的发展,为天津制造业立市贡献园区力量!此外,启动仪式还进行了入园企业签约。企业的入驻,将为天津高端精密仪器产业园注入新的动力。图为企业代表致辞接下来,天津大学校长助理刘宁先生、津南区副区长胡永梅女士、天津大学精密仪器与光电子工程学院院长曾周末先生、津南开发区管委会主任张国艳女士、天津高端精密仪器产业园总经理李明山先生以及沽盛集团副总经理时寅宝先生共同上台为项目启动,见证美好时刻!随着园区的圆满启动,把启动仪式推向了高潮,现场欢声雷动。在大家热烈的掌声中,天津大学校长助理刘宁上台为园区的启动进行了致辞,刘校表示2021年4月,天津高端精密仪器产业园创立之初就与天津大学精密仪器与光电子工程学院达成合作共识,双方共同推动大学科技成果转化落地,并将进一步促进津南区仪器仪表相关产业聚集。恰逢其时,正值大学科技园三年行动计划出台,鼓励高校科研人员到科技园内企业开展科技创新,校企共建。后依托天津市津南开发区管委会,于2021年5月三方正式签署合作协议,合力共促天津大学科技园建设和园区高质量发展。未来天津高端精密仪器产业园将围绕高端精密仪器相关产业,紧密融合天津大学精仪学院资源,打造高端精密仪器与装备产业集群,设立1个成果转化基地,2个公共平台,1个展示中心。天津高端精密仪器产业园作为大学科技园承接载体,将有力推动天津大学科技成果转化工作见实效。图为天津大学校长助理刘宁致辞最后,津南区副区长胡永梅女士为本次启动仪式致辞,胡区长表示:在全市上下掀起学习天津市第十二次代会的热潮中,我们迎来了天津高端精密仪器产业园的启动仪式。作为大学科技园重要的承接载体之一,天津高端精密仪器产业园是天津首家以精密仪器、传感器以及工业过程控制为主题的专业化园区。同时,依托天津大学精密仪器与光电子工程学院强大的学科资源优势,在精密仪器、智能装备制造、医疗器械、新能源、新材料等重点行业大力推动科技成果转化,加快引进与培育领军企业,努力打造“专、精、特、新”的主题园区。相信在学校和学院的共同支持下,产业园将为推动天津市制造业立市和津南区产业集聚做出巨大的贡献!图为津南区副区长胡永梅致辞我们将敞开心怀,真诚欢迎各界朋友到津南考察、、创业,在津南这片热土上收获财富、收获成功、收获友谊。希望天津高端精密仪器产业园为中国制造2025助力,勇担重任,以与时俱进的精神、革故鼎新的勇气、坚韧不拔的定力,为中国制造备好“尺子”,为科技强国建设贡献园区力量。有社会各界的支持和美好期许,天津高端精密仪器产业园必将不负众望,为天津津南产业升级注入新动能。
超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器杨宏兴1,2,付海金1,2,胡鹏程1,2*,杨睿韬1,2,邢旭1,2,于亮1,2,常笛1,2,谭久彬1,21哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨150080;2哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室,黑龙江哈尔滨150080摘要针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,激光真空波长相对准确度最高达9.6×10-10,位移分辨力为0.077nm,光学非线m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国350nm至28nm多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。关键词光学设计与制造;激光干涉;超精密高速位移测量引言激光干涉位移测量(DMLI)技术是一种以激光波长为标尺,通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动态、测量结果可直接溯源等特点,DMLI技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪,已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例,其内部通常集成有6轴至22轴以上的超精密高速激光干涉仪,来实时测量高速运动的掩模工件台、硅片工件台的6自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求,目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米,并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级;而位移测量速度需求,则从数百毫米每秒到数米每秒。对DMLI技术和仪器而言,影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求,以美国Keysight公司(原Agilent公司)和Zygo公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构,长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破,已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而,一方面,上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器已被列入有关国家的出口管制清单,不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求;另一方面,上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求,哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量,已成功应用于我国350nm至28nm多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心测量手段,而且还可为我国7nm及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制高精度干涉镜组的3个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性,本课题组围绕这3个核心指标(特别是光学非线性)设计并研制了前后两代镜组。共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入,具备抗环境干扰能力强的优点,是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径,并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于,通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性,并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统,保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性[19-20]。目前本课题组研制的5轴干涉镜组(图11)可实现热稳定性小于10nm/K、光学非线nm以及任意两束光的平行性小于8″,与国际主流商品安捷伦Agilent、Zygo两束光的平行性5″~10″相当。图11.自主研制的共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图非共光路干涉镜组非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上,通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠,优化了纳米量级的光学非线年,本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构[2,21],具体结构如图12所示,测试可得该干涉镜组的光学非线pm。并进一步发现基于多阶多普勒虚反射的光学非线性误差源,建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法,改进并设计了光学非线pm的非共光路干涉镜组[2-3],并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于2nm/K[22-25]。同时,本课题组也采用多光纤高精度平行分光,突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光,致使光轴之间的平行度误差逐级累加的固有问题,保证多光纤准直器输出光任意两个光束之间的平行度均小于5″。图12.自主设计的非共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪(图17),其激光线nm,最低光学非线)。并成功应用于上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)、中国计量科学研究院(NIM)、德国联邦物理技术研究院(PTB)等十余家单位,在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。图17.自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。(a)20轴以上超精密高速激光干涉仪;(b)单轴亚纳米级激光干涉仪;(c)三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量,不仅考验仪器的研制水平,更考验仪器的应用水平,如复杂系统中的多轴同步测量,亚纳米乃至皮米量级新误差源的发现与处理,高水平的温控与隔振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几个典型应用。国产光刻机研制:多轴高速超精密激光干涉仪在国产光刻机研制方面,多轴高速超精密激光干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是,一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运;另一方面该类仪器技术复杂、难度极大,我国一直未能完整掌握,这严重制约了国产光刻机的研制和生产。为此,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统,已成功应用于我国350nm至28nm多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,典型应用如图18所示,其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求,打破了国外相关产品对我国的禁运封锁,在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中,干涉仪的测量轴数可达22轴以上,最大测量速度可达5.37m/s,激光真空波长/频率准确度最高可达9.6×10−10(k=3),位移分辨力可达0.077nm,光学非线pm。配合超稳定的恒温气浴(3~)和隔振环境,可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦,以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求,进而保证光刻机整体套刻精度。图18.超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制:亚纳米精度激光干涉仪在国家级计量基准装置研制方面,如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义,被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中,关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量,其要求绝对测量精度达到1nm以内。为此,本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪,并成功应用于我国首套量子化质量基准装置(图19),在量子化质量基准中国方案的实施中起到了关键作用,并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一[30-32]。为达到亚纳米级测量精度,除了精密的隔振与温控环境以外,该激光干涉仪必须在真空环境下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响,其测量不确定度可达0.。此外,为了实现对被测对象的姿态监测,该干涉仪的测量轴数达到了9轴。图19.国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪结论近年来,随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展,光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的重大挑战。对此,本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展,下一步的研究重点主要包括以下3个方面:1)围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中,其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升,将要求在大量程、6自由度复杂耦合、高速运动条件下实现0.1nm及以下的位移测量精度,对激光干涉仪的研发提出严峻挑战;极紫外光刻机采用真空工作环境,可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差,同时也使整个测量系统结构针对空气-真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2)皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年,国家自然科学基金委员会(NSFC)联合德国科学基金会(DFG)共同批准了中德合作项目“皮米级多轴超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”(2021至2023年)。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院(PTB)合作完成,预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪,并进行国际范围内的直接比对。3)空间引力波探测。继2017年美国LIGO地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后,各国纷纷开展了空间引力波探测计划,这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中,中国的空间引力波探测计划,将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上,实现皮米精度的超精密测量,本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下,将陆续开展卫星-卫星之间和卫星-平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究,特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作,预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过20年的研究基础,建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队,并且在研究过程中得到了12项国家自然科学基金、2项国家科技重大专项、2项国家重点研发计划等项目的支持,建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台,开发了系列超精密激光干涉测量仪,在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用,推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展,并将通过进一步研发,为我国下一代极紫外光刻机研发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见:超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf
日前,海南大学精密仪器高等研究中心(以下简称中心)正式成立,与海南大学分析测试中心合署运行。据介绍,中心拥有一支具备独特专业技术优势的电子显微镜专家团队,建有材料和物质科学领域全国和东南亚地区最大的皮米电镜实验室。中心现有精密仪器设备共计132台,总价值1.8亿元,包括3台球差校正透射电子显微镜、7台电子显微镜、三维原子探针、核磁共振、多台套波谱仪、光谱仪、质谱仪设备等,可满足材料、物理、化学、医药、农学、机械等不同学科和不同专业的科研需求。中心以大型精密仪器设备共享和科技服务为主线,融合精密仪器研发、科学研究,人才培养和社会服务,旨在突破制约高校高端科学仪器设备研发和应用的制度藩篱,推动多学科协同创新与交叉融合,构建“产学研用管”全链条服务体系,建立大型精密仪器设备高效、高水平运行的全成本核算体制机制,打造推动高质量发展、服务国家战略需求的科技创新平台。面向国家重大战略和海南自贸港建设发展需求,中心将以建成高标准的学术研究平台为目标,持续开展关键核心技术攻关和产业共性技术研发,积极探索卓越拔尖创新人才培养体系,不断加强常态化国际学术交流合作,努力提升国内外一流大型精密仪器的社会共享服务水平和效率,实现科技成果快速高质量转化和应用推广。据悉,近年来,海南大学科研创新能力不断提升,高端仪器研制领域取得了突破性进展。以“脑血管光子计数显微CT成像与定量分析系统”为研制目标的海南大学教授刘谦团队在2022年获批国家重大科研仪器研制项目,填补了海南省国家重大科研仪器研制项目的空白;海南大学教授张喜瑞团队研发的智能仿形进阶割胶机,创新“自适应防偏捆绑固定装置”和“贴树仿形割胶”技术,解决了割胶深度稳定控制的关键技术难题,实现了毫米级精度作业,目前正在澄迈、屯昌等地推广示范1000余台;海南大学研究员万逸团队设计研发的FORBID荧光光电微生物检测仪,将生物分析、微电子、结构电子工程等多学科深度交叉融合,开创性地解决了复杂体系中微生物原位在线检测难题。
导语:制造业是国家生命的命脉,精密制造是未来制造业发展的一种趋势。2018年,全球精密机加工市场规模达到2160亿美元,同比增长1.9%。精密制造业覆盖航空、医疗、汽车、消费电子、通信等各个领域。现阶段,中国精密制造业总体呈现区域发展不均衡、企业规模较小、实力较弱、产值增长较快等特点,且难以协调厂商需求的批量生产、成本可控与客户需求的产品质量稳定性、一致性之间的矛盾。高精密3D打印作为先进制造业的重要组成部分,解决了传统加工工艺过程复杂、成本高、难度大的痛点,成为现代精密制造业不可缺少的“产业新力量”精密制造业现状:需求大,难度高,投入大精密制造业主要包括精密和超精密加工技术、制造自动化两大领域,前者追求加工上的精度和表面质量极限,后者包括了产品设计、制造和管理的自动化,两者是密切合作、相辅相成的关系,皆具有全局的、决定性的作用,是先进制造技术的支柱。精密和超精密机加工行业一直是劳动密集、资金密集和技术密集型行业,行业门槛较高,企业需达到一定规模才能产生利润。自动化精密模具包括结构工艺复杂的成型模具和高精度成型模具。结构工艺复杂的模具是在较小的模具体积上需要做出很多功能的实现;高精度模具主要是指成型的产品尺寸变化微小,一致性非常高,模具往往体积不大,但造价高昂。根据罗兰贝格数据统计,2011-2018年,全球精密机加工市场规模复合年增长率为0.2%;到2018年,全球精密机加工市场规模达到2160亿美元,同比增长1.9%。其中,全球精密机加工外包市场规模达1480亿美元,占全球总规模的69%。资料来源:罗兰贝格前瞻产业研究院整理精密制造业提供的是制造业的关键零部件,是制造业的最顶端,利润最丰厚的核心部分。从规模上来看,精密制造业可以覆盖整个制造业的大约三分之一。精密制造主要用于生产复杂的零件及制成品的完整组建,具体领域包括航空、医疗、汽车、消费电子、通信等等。得益于这些下游领域的需求支撑,全球精密制造业市场保持稳定。精密制造业技术永恒的主题就是高效率与高精度。目前,中国的制造业与世界制造业强国相比仍有较大差距,其中最突出的表现之一是精密零部件的加工能力滞后,主要因其在质量、一致性、耐用性等方面的要求非常高。虽然中国精密零部件加工厂商数量众多,但技术水平和加工能力参差不齐。即使部分的国内配套加工厂商通过购进先进的生产设备等方式可以达到精密零部件的加工质量要求,但却常常难以在批量生产、成本可控的条件下保持产品质量的稳定性和一致性。摩方批量打印齿轮一般来说,高质量精密零部件加工制造不仅需要先进的生产设备等硬件配备,更需要根据部件的产品特点和客户需求,设计和实施科学合理的生产工艺,平衡加工质量、产品交期和成本控制等多个相互影响的制约因素,同时,还要实现设备、工具和人员等生产资源的优化组合。总体而言,这是一个需要多项投入、多方考量、环环把控的行业。那么,面对精密制造业市场的巨大刚性需求,以及国家振兴精密制造业的发展趋势,是否可以实现既满足较高的精密产品质量与技术需求、又能实现可控的时间和成本投入?高精密3D打印——现代精密制造的“产业新力量”在传统加工工艺无法满足高质量精密零部件快速交付需求的现状下,市场需求将目光逐步引导至近些年高速发展的增材制造工艺。增材制造是先进制造业的重要组成部分,随着全球范围内新一轮科技与产业革命的蓬勃兴起,世界各国纷纷将其作为未来产业发展的新增长点。中国《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》,《中国制造2025》等均把增材制造列入重点领域。增材制造又称3D打印技术,它完全解决了传统加工工艺过程复杂、成本高、难度大等痛点,能够准确、快速、灵活设计各种复杂结构。而高精密3D打印更是成为现代精密制造业不可缺少的“产业新力量”,虽目前仍处于发展早期,但其突破复杂三维微纳结构器件的精密快速成型与直接生产制造,在微小精密部件的开发与小批量阶段,以“成型效率高、加工成本低”的突出优势受到高质量精密零部件加工市场的倍加青睐,而这种高效率的“时间差”带来的收益已经成为一些公司的利润来源。目前在全球范围内,PμSL面投影立体光刻技术(ProjectionMicroStereolithography)是已经成熟商业化的能够实现高精密3D打印的的微纳光固化3D打印技术之一。PμSL在实验室阶段可实现几百纳米精度,已经商业化的产品可达几微米的打印精度,多见于深圳摩方科技的nanoArch系列微纳3D打印设备——全球首款商业化的PμSL面投影微立体光刻技术微尺度3D打印设备产品,涵盖多款型号机型,可以提供2μm超高精度3D打印系统。PμSL加工速度快、打印幅面大、加工成本低以及宽松的环境要求等特点,使其在工业应用领域已实现了内窥镜、导流钉、连接器、封装测试材料等部件的批量加工和应用,为国内外多个大型公司提供高精密加工方案。在此列举2个高精密3D打印应用较为广泛的案例:连接器与内窥镜。连接器尺寸5.65mm*2mm*2.8mm,最小pin间距0.14mm,最小壁厚0.1mm;内窥镜端部座中的圆管壁厚为70μm,管径1mm,高度4mm。精度要求皆为±10-25μm。CNC和开模注塑很难加工这种逼近极限的结构,深圳摩方公司可以在约1-2小时内就加工出来,最快一天内交付。同时,也极大的降低了制造成本。深圳摩方——助力振兴中国精密制造业振兴精密制造业是中国经济跨越发展的重要一环。着眼未来,借助高精密3D打印设备和技术来提升零部件制造的精度,将成为精密零部件制造的一大趋势。从工业市场出发,效率和成本是决定盈利与否的关键因素。深圳摩方的高精密3D打印设备与技术,在缩短制造周期、降造成本、提升产品性能等方面,很好的契合了精密制造业创新发展的技术精度需求与市场盈利需求。中国精密制造实现振兴将如虎添翼,未来可期。
导语:制造业是国家生命的命脉,精密制造是未来制造业发展的一种趋势。2018年,全球精密机加工市场规模达到2160亿美元,同比增长1.9%。精密制造业覆盖航空、医疗、汽车、消费电子、通信等各个领域。现阶段,中国精密制造业总体呈现区域发展不均衡、企业规模较小、实力较弱、产值增长较快等特点,且难以协调厂商需求的批量生产、成本可控与客户需求的产品质量稳定性、一致性之间的矛盾。高精密3D打印作为先进制造业的重要组成部分,解决了传统加工工艺过程复杂、成本高、难度大的痛点,成为现代精密制造业不可缺少的“产业新力量”精密制造业现状:需求大,难度高,投入大精密制造业主要包括精密和超精密加工技术、制造自动化两大领域,前者追求加工上的精度和表面质量极限,后者包括了产品设计、制造和管理的自动化,两者是密切合作、相辅相成的关系,皆具有全局的、决定性的作用,是先进制造技术的支柱。精密和超精密机加工行业一直是劳动密集、资金密集和技术密集型行业,行业门槛较高,企业需达到一定规模才能产生利润。自动化精密模具包括结构工艺复杂的成型模具和高精度成型模具。结构工艺复杂的模具是在较小的模具体积上需要做出很多功能的实现;高精度模具主要是指成型的产品尺寸变化微小,一致性非常高,模具往往体积不大,但造价高昂。根据罗兰贝格数据统计,2011-2018年,全球精密机加工市场规模复合年增长率为0.2%;到2018年,全球精密机加工市场规模达到2160亿美元,同比增长1.9%。其中,全球精密机加工外包市场规模达1480亿美元,占全球总规模的69%。资料来源:罗兰贝格前瞻产业研究院整理精密制造业提供的是制造业的关键零部件,是制造业的最顶端,利润最丰厚的核心部分。从规模上来看,精密制造业可以覆盖整个制造业的大约三分之一。精密制造主要用于生产复杂的零件及制成品的完整组建,具体领域包括航空、医疗、汽车、消费电子、通信等等。得益于这些下游领域的需求支撑,全球精密制造业市场保持稳定。精密制造业技术永恒的主题就是高效率与高精度。目前,中国的制造业与世界制造业强国相比仍有较大差距,其中最突出的表现之一是精密零部件的加工能力滞后,主要因其在质量、一致性、耐用性等方面的要求非常高。虽然中国精密零部件加工厂商数量众多,但技术水平和加工能力参差不齐。即使部分的国内配套加工厂商通过购进先进的生产设备等方式可以达到精密零部件的加工质量要求,但却常常难以在批量生产、成本可控的条件下保持产品质量的稳定性和一致性。摩方批量打印齿轮一般来说,高质量精密零部件加工制造不仅需要先进的生产设备等硬件配备,更需要根据部件的产品特点和客户需求,设计和实施科学合理的生产工艺,平衡加工质量、产品交期和成本控制等多个相互影响的制约因素,同时,还要实现设备、工具和人员等生产资源的优化组合。总体而言,这是一个需要多项投入、多方考量、环环把控的行业。那么,面对精密制造业市场的巨大刚性需求,以及国家振兴精密制造业的发展趋势,是否可以实现既满足较高的精密产品质量与技术需求、又能实现可控的时间和成本投入?高精密3D打印——现代精密制造的“产业新力量”在传统加工工艺无法满足高质量精密零部件快速交付需求的现状下,市场需求将目光逐步引导至近些年高速发展的增材制造工艺。增材制造是先进制造业的重要组成部分,随着全球范围内新一轮科技与产业革命的蓬勃兴起,世界各国纷纷将其作为未来产业发展的新增长点。中国《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》,《中国制造2025》等均把增材制造列入重点领域。增材制造又称3D打印技术,它完全解决了传统加工工艺过程复杂、成本高、难度大等痛点,能够准确、快速、灵活设计各种复杂结构。而高精密3D打印更是成为现代精密制造业不可缺少的“产业新力量”,虽目前仍处于发展早期,但其突破复杂三维微纳结构器件的精密快速成型与直接生产制造,在微小精密部件的开发与小批量阶段,以“成型效率高、加工成本低”的突出优势受到高质量精密零部件加工市场的倍加青睐,而这种高效率的“时间差”带来的收益已经成为一些公司的利润来源。目前在全球范围内,PμSL面投影立体光刻技术(ProjectionMicroStereolithography)是已经成熟商业化的能够实现高精密3D打印的的微纳光固化3D打印技术之一。PμSL在实验室阶段可实现几百纳米精度,已经商业化的产品可达几微米的打印精度,多见于深圳摩方科技的nanoArch系列微纳3D打印设备——全球首款商业化的PμSL面投影微立体光刻技术微尺度3D打印设备产品,涵盖多款型号机型,可以提供2μm超高精度3D打印系统。PμSL加工速度快、打印幅面大、加工成本低以及宽松的环境要求等特点,使其在工业应用领域已实现了内窥镜、导流钉、连接器、封装测试材料等部件的批量加工和应用,为国内外多个大型公司提供高精密加工方案。在此列举2个高精密3D打印应用较为广泛的案例:连接器与内窥镜。连接器尺寸5.65mm*2mm*2.8mm,最小pin间距0.14mm,最小壁厚0.1mm;内窥镜端部座中的圆管壁厚为70μm,管径1mm,高度4mm。精度要求皆为±10-25μm。CNC和开模注塑很难加工这种逼近极限的结构,深圳摩方公司可以在约1-2小时内就加工出来,最快一天内交付。同时,也极大的降低了制造成本。深圳摩方——助力振兴中国精密制造业振兴精密制造业是中国经济跨越发展的重要一环。着眼未来,借助高精密3D打印设备和技术来提升零部件制造的精度,将成为精密零部件制造的一大趋势。从工业市场出发,效率和成本是决定盈利与否的关键因素。深圳摩方的高精密3D打印设备与技术,在缩短制造周期、降造成本、提升产品性能等方面,很好的契合了精密制造业创新发展的技术精度需求与市场盈利需求。中国精密制造实现振兴将如虎添翼,未来可期。
12日,位于津南区的天津高端精密仪器产业园一期主体施工完成,主要为天津大学精密仪器的成果转化落地提供载体平台。天津大学精密仪器与光电子工程学院,建有精密测试技术及仪器国家重点实验室,手握大量先进成果,亟待转化。去年6月,津南区引入专业运营公司,在开发区内,建设天津高端精密仪器产业园。既承接天大成果转化落地项目,也会引进电子元器件、工业自动化、精密加工、物联网传感器等六个相关领域的龙头企业,培育产业集群。目前,一期主体工程完工。计划8月竣工交付。目前已经引进行业企业21家,包括3家专精特新企业,6家国家级高新技术企业。
光学计量仪器作为现代科学和工业领域中不可或缺的工具,通过利用光学原理进行精确测量,在各个领域发挥着重要作用。本文将介绍光学计量仪器的定义、原理以及其在科学研究和工业应用中的重要性。第一部分:光学计量仪器的定义和分类定义:光学计量仪器是基于光学原理设计和制造的精密测量设备,用于测量长度、角度、形状等物理量。分类:光学计量仪器可以根据其功能和应用领域进行分类,包括测微计、激光干涉仪、投影仪、扫描电子显微镜等。每种仪器都有其特定的测量原理和适用范围。第二部分:光学计量仪器的原理和工作方式光学原理:光学计量仪器利用光的传播和反射、折射等特性进行测量。例如,激光干涉仪利用激光光束的干涉现象测量长度和形状,投影仪通过光学系统投影图像进行测量等。工作方式:光学计量仪器通常利用光源、探测器、光学透镜和其他相关组件构成测量系统。通过精确的光学路径设计和信号处理,可以实现高精度的测量结果。第三部分:光学计量仪器在科学研究中的应用物理学研究:光学计量仪器在物理学领域中广泛应用,例如用于测量材料的光学性质、表面形貌和精细结构等,为理论研究提供重要数据。生物医学研究:在生物医学研究中,光学计量仪器可用于测量细胞、组织和生物标本的大小、形状和表面特征,为疾病诊断和治疗提供依据。材料科学研究:光学计量仪器在材料科学领域中用于测量材料的机械性能、光学性能和电子性能,为新材料的开发和应用提供支持。第四部分:光学计量仪器在工业应用中的重要性制造业:光学计量仪器在制造业中广泛应用,例如测量零部件的尺寸和形状,确保产品的精度和质量。航空航天:光学计量仪器可用于航空航天领域中对飞行器、航天器以及相关部件进行精确测量,确保飞行安全和性能。汽车工业:在汽车制造中,光学计量仪器可用于测量汽车外观、内饰和关键零部件的尺寸和形状,确保产品符合设计要求。光学计量仪器作为精密测量的利器,在科学研究和工业应用中发挥着不可或缺的作用。通过利用光学原理和精确的测量系统,这些仪器能够提供高精度、可靠的测量结果,满足各行各业对于精密测量的需求。随着科技的不断进步,光学计量仪器也在不断创新和发展。新的技术和方法被引入,以提高测量精度、扩大测量范围和增加测量功能。同时,仪器的便携性和自动化程度也得到了提升,使得使用更加方便和高效。然而,光学计量仪器的应用并不仅限于科学研究和工业领域。在日常生活中,我们也可以发现它们的身影。例如,眼镜店使用计量仪器来准确测量眼镜度数;珠宝商使用显微镜和投影仪来评估珠宝的品质和工艺。总之,光学计量仪器在现代社会中扮演着重要的角色,推动着科学技术的发展和产业的进步。通过持续的创新和应用,光学计量仪器将继续为我们提供精密测量的利器,助力于各个领域的科研、生产和品质控制,推动着社会的发展和进步。
中国证监会3月4日晚间公告称,创业板发审委拟于3月8日审核深圳市理邦精密仪器股份有限公司首发申请。理邦精密拟发行2500万股,占发行后总股本的25%。公司自成立以来专注于医疗电子设备领域,主营业务未发生重大变化。公司2008年、2010年分别实现营业收入1.75亿元、2.28亿元和3.20亿元;归属于母公司所有者净利润2839.81万元、4590.65万元和6601.59万元。深圳市理邦精密仪器有限公司位于深圳市经济特区高科技产业密集区域-南山区,是一家集研发、生产、销售和服务为一体并具有企业自营进出口权的专业型医疗电子仪器设备供应商,是深圳市高新技术企业、深圳市软件企业、深圳市医疗器械行业协会副理事长单位,公司领导出任深圳市医疗器械行业协会秘书长职务。公司主要生产医疗电子设备供应商,在产科、心电、监护、超声影像四大领域80多种型号产品。
6月10日,精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学)发布2022年度开放课题申请通知。申请时间为2022年06月11日~06月30日,资助金额不超过8万元人民币,资助期限不超过3年,课题起始时间为2022年09月01日。一、申请指南与条件本次申请在重点实验室研究方向内自主立题进行申请,可重点聚焦下述研究范围,同时,需提出本实验室固定研究人员做联系人。1、极限测量理论与技术(1)微纳测试新方法针对微电子、光电子等先进制造领域的发展需求,研究高分辨力、多尺度的扫描探针/光学显微测试新方法,在极限空间分辨力和超快测量等方面取得突破;研究基于新型材料的传感器件特性表征与测量方法;研究分子水平生物过程的测量方法,为生命科学研究提供更为先进的研究手段;研究重大工程实践中的微纳测量问题,发展现场复杂环境下的精密测量方法与技术。(2)新型三维传感及测量技术新型三维传感及测量技术在超精密加工、智能制造、生物医学、材料科学等领域具有重要的研究价值和现实意义,开放课题聚焦以光谱色散扫描、衍射光学投影、二维超表面、近场光学为核心的新型微结构三维测量技术:①低反射率微结构三维测量技术;②基于衍射光学线激光扫描测量技术;③超表面微纳光学系统技术;④近场光学探针超分辨成像技术。(3)半导体缺陷测试技术研究方向以第三代和第四代半导体晶圆/片、芯片、器件等国家战略性材料产业的重大检测需求以及国际学术前沿为背景,开展半导体缺陷形成与调控机理测试研究,为国家制备高质量半导体与工程应用提供技术支持。征集下列范围内研究课题:①面向金刚石、氧化镓、氮化铝等第四代半导体缺陷形成与调控测试研究;②面向4H-SiC、GaN等第三代半导体缺陷形成与调控测试研究;③基于半导体晶片离子、中子、质子、电子等辐照缺陷的形成与退火调控测试研究。2、微纳制造与微传感器(1)光学自由曲面制造与评价新方法以空间遥感、全景成像、虚拟现实、短焦投影等重点领域内的大视场光学系统需求为背景,重点研究光学自由曲面应用于大视场高像质光学系统制造的关键技术,研究具有可加工性的连续自由曲面空间表达和数学实现方法,研究多参数控制下面型设计及像差优化理论,研究自由曲面面形和装配误差对光学性能的影响规律,完善自由曲面光学系统设计理论。研究纳米切削机理,研究刀具伺服技术在加工自由曲面时的误差模型、误差补偿方法和关键技术,进一步发展自由曲面加工方法。面向复杂光学自由曲面表面形貌高精度自动化快速测量需求,突破测量精度与测量动态范围的制衡,研究全维度、全频段测量评价新方法。研究跨尺度多物理量综合测量原理,解决极限测量空间限制测量难题;研制高端智能化测量仪器装置,实现真正意义上任意未知光学自由曲面高精度全自动测量。研究核心高精度标定及复原新算法,构建系统误差智能补偿数学模型,制定应用端为基础的科学评价策略,完善光学自由曲面测量理论体系。(2)原子及近原子尺度制造新方法针对在下一代核心器件与高端传感器的巨大潜在驱动下制造精度再一次提升并接近材料极限的趋势,提前布局亚纳米至原子精度、原子及近原子尺度制造新方法、新技术的探索研究。采用特殊波段的电磁辐照以及电化学等方法,研究材料在亚纳米至原子尺度下的增减机理与加工极限,构建过程模拟、可控性与工艺优化、加工质量评价等关键技术体系;研究原子及近原子尺度制造与纳米精度制造的工艺衔接、表面状态演化等跨尺度问题。3、精密测量与制造智能(1)声学无损检测研究声学无损检测研究面向航空航天、石油石化、能源电力、深海远洋等重大行业需求为背景,重点研究基于包括常规超声、电磁超声、合成孔径超声等超声检测技术,基于超声导波检测技术,光纤光学传感等无损检测技术,海底自主航行智能球及海洋声学检测技术。开放课题选题定位于新型检测技术的基础理论早期研究与探索:①海洋环境监测的多参数传感器研发与应用;②基于压电材料的面阵声发射传感器研制。(2)海洋磁场检测技术与磁流体动力学研究海洋磁场检测技术以海洋资源探测、海洋环境保护以及军事海洋学等重点领域内的磁场精密测量需求为背景,重点研究基于激光技术的磁场测量新原理、新型激光磁场探测处理技术及新型激光海洋磁场精密测量装置。磁流体动力学研究方向以航空、航天及航海等重点领域内的高精度传感需求为背景,重点研究基于磁流体动力学的惯性传感新原理、新型磁流体动力学惯性传感技术及器件、新型磁流体动力学高精度姿态测量装置、液态金属的灌装和密封、与内外电极的浸润性调节和新型高密度液态金属材料的研制。(3)激光与光电测试技术以先进制造、航空航天、能源交通等重点领域内的精密测量需求为背景,重点研究基于激光与光电传感新原理、新型光电探测处理技术及器件,具有重要学术价值和重大工程应用前景的几何量测量新方法、新技术、新系统。开放课题选题与设置定位于基础原理探索和创新技术的早期研究与验证,为后续技术研发与工程应用提供源头动力。征集下列范围内研究课题:①面向先进制造的高精度几何量测量新原理、方法与技术;②高动态条件下多自由度几何量测量新原理、方法与技术;③面向现场非可控环境精密测量的精度控制与误差修正方法与技术;(4)高性能声/光子晶体微腔与传感技术针对航空航天、先进制造、智能装备等重点领域对高精度传感的需求,重点研究基于声/光子晶体的高精度传感新原理、新型声光耦合技术与传感器件;研究基于能带拓扑的高性能声/光子晶体微腔设计方法,新型声光传感器件特性表征与测量方法。开放课题定位于基础理论探索和前瞻性创新技术的早期研究,为后续技术研发与工程应用提供源头动力。(5)水下传感网络时间同步技术以水下多节点分布式探测、识别与跟踪领域内的时钟参数精密测量需求为背景,重点研究水下传感网络中高精度的时钟参数估计方法和低能耗的时间同步方案设计,力图改善水下传感网络的协同工作性能。开放课题选题定位于基础理论和方法的早期研究与探索:①面向水下蜂窝网络的高精度的时钟参数估计方法;②面向节点随机部署水下传感网络的时间同步方案;③节点时间同步与被动目标定位的联合方案设计。4、生物与环境检测技术及仪器征集下列范围内研究课题:(1)海洋生物电生理检测技术及仪器以鱼类等海洋经济物种为研究对象,探究听觉行为等国际学术前沿问题,研究涉及脑电传感器、放大器、滤波器等方面的脑电检测技术及仪器,开放课题选题定位于基础理论和方法的早期研究与探索:①基于听觉诱发电位响应的传感技术;②脑电电位放大器及信号增强方法;③脑电电位滤波器件设计与构建。(2)生物信息检测技术及仪器围绕精准诊断、智慧医疗和食品安全等关系国民生命健康的重大检测需求,以世界科技前沿和经济主战场为背景,研究基于微流体、纳流体和柔性传感器的生物信息检测仪器及设备,推动现代检测技术与重大疾病诊断和慢病监测技术的融合创新,开放课题选题定位于基础理论和方法的早期研究与探索:①基于纳米颗粒耦合的高灵敏度电化学传感技术;②基于喷墨打印的柔性传感器制造技术;③基于功能化微针的慢性病无创监测技术;④生物传感器的表面结构化修饰及信号增强方法;⑤基于纳米光子的高灵敏度生物传感器;⑥基于纳米孔道的高灵敏生物检测技术。此外,本次申请优先考虑与精密测试技术及仪器国家重点实验室有实质性合作研究的申请人或申请单位,并提供证明材料(如合作发表的高水平论文、项目、专利等);本校教职工和学生不能申请。二、申请材料经专家评审和实验室学术委员会批准的课题,可获得实验室开放基金资助。申请人需提交的材料有:电子申请书(WORD或PDF格式)和纸质原件一式三份,申请书原件需签名,申请者所在单位需同意并加盖公章(国内申请单位划拨经费时会涉及到财务部门,因此需要法人级别的申请单位盖章;国外可只签名);电子版文件统一命名为“所属研究方向-单位-姓名”(所属研究方向详见申请书简表)。在申请受理截止时间06月30日前将相关证明材料及电子版申请书发送到指定的邮箱;纸质申请书原件(三份)最迟07月15日前邮寄到重点实验室。三、开放课题的经费使用及日常管理根据天津大学经费管理办法,获得资助的开放课题经费分期拨款到国内承担单位,经费应严格按照科技部、财政部《国家重点实验室专项经费管理办法》相关财务规定使用。凡申请拨款的课题负责人均需事先提供当次拨款金额发票,并在课题中期检查和结题时,提供经费使用情况说明并加盖有效的单位财务公章。重点实验室将通过开放课题进一步加强与课题承担单位的合作与交流,课题申请除相关研究内容外,需说明与重点实验室的合作或交流方式。为方便开放课题联络、运行和管理,所有申请课题都需指定精仪国家重点实验室固定研究人员作为联系人。同时,拟利用重点实验室条件进行开放课题研究的,请通过联系人协调,实验室将尽力解决好研究人员的相关工作条件。请申请者仔细阅读《精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题管理办法》,并严格按照管理办法的规定进行申请,凡不符合规定的将不予受理。四、联系方式联系人:王明方通信地址:天津市南开区卫津路92号天津大学17号楼东配楼精仪国家重点实验室邮政编码:300072联系电话传线:精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题申请书.docx附件2:精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题管理办法.pdf精密测试技术及仪器国家重点实验室2022年06月10日
精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT在其压电级中使用什么类型的位移传感器?为什么它优于其他传感器技术?PIEZOCONCEPT使用单晶硅传感器,称为Si-HR传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分,但它的性能优于其他两种常用技术(电容式传感器和金属应变仪)。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。电容式传感器与PIEZOCONCEPT公司Si-HR传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现,但他们对以下情况很敏感:• 气压变化:空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化:同样的,空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性,因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性,则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正,也无法校正其他因素(污染物、脱气)的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外,电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此,带有电容传感器的位移台不可能做的有像的BIO3/LT3这样薄,即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术,所以Si-HR传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次,温度变化会对测量产生影响(主要是因为材料的热膨胀),但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上,我们为每个轴平行使用2个硅传感器-一个用于测量,另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与PIEZOCONCEPTSiliconHR技术的比较金属应变计与我们的SiliconHR技术(也是应变计)之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能,因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR传感器(PIEZOCONCEPT使用)之间的第yi个区别是应变系数:半导体应变仪(Si-HR)的应变系数大约是金属应变仪的100倍。更高的规格因子导致更高的信噪比,最终导致更高的稳定性。更重要的是,第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上(即实现运动的地方):金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此,它必须安装在执行器本身上,因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此,由于压电执行器的伸长不均匀,因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量,我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因,如果您比较应变计(金属)和PIEZOCONCEPT的Si-HR传感器,在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。关于法国PIEZOCONCEPT公司PIEZOCONCEPT是压电纳米位移台领域的领宪供应商,其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用,在工业和科研领域受到广泛好评。多年来,纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究,开发出硅基高灵敏度位置传感器(SiliconHR)技术,Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度,以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案,让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件,包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件,覆盖5-1500um行程,品类丰富,并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势,Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈,该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此,我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米(或亚纳米弧度)本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商,代理品牌均处于相关领域的发展前沿;产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等优质服务。
自1917年生产第一台试验机以来,岛津制作所生产试验机已经有100多年的悠久历史,凭借丰富的测试经验和高端的制造工艺,业界最高级别的新型试验机AGX-V系列于2019年正式发布。采用高刚性框架、智能横梁、多处理器、多控制单元实现了高速采样和高精度自动控制。搭载了用户界面的智能控制器和支持直观操作的试验软件,可方便的创建试验条件和对试验结果进行数据处理。配置新型的行程限位开关和安全防护罩使试验操作更安全。1、先进功能的集合体自主研发的控制器搭载了2个处理器和3个控制单元。作为材料试验控制的基础,通过对通信、测量、控制各功能分散布局和频密时序设计,达到高速实时并行计算处理,实现了最高10kHz的超高速采样。新型自动增益调整功能可轻松的进行应变速率控制。超高速采样功能提升到10kHz(0.1ms间隔)采样频率,可有效测得脆性材料断裂瞬间的急速且微小的变化。载荷的精度保证范围扩大到1/2000,精度保证区间的扩大可进一步增大传感器的测量范围。对试验的初始阶段,也能准确测量。在之前需要根据载荷更换多个传感器的试验,现在使用一个载荷传感器即可对应,可减少更换次数和校准费用。外部输入端口最多可增设20个通道。可以从标准配件中选择模拟输入单元和数字输入单元,无需数据记录仪即可轻松收集更多数据。主机框架实现高刚性和高同轴度,达到ASTME1012规定的Class10同轴度精度要求,提高了高强度材料和复合材料试验数据的可靠性。2、向操作人员和设备提供真正的安全性试验空间的前面和背面标准配有高透明度和耐冲击的聚碳酸酯材质的安全防护罩,防止试验片破断时四处飞散。具有联动功能,如果不关闭安全防护罩则无法进行测试和横梁返回的动作,降低事故发生的风险。智能横梁能始终识别横梁当前的位置。当误操作导致夹具过于接近时,在发出碰撞警告的同时自动停止横梁移动。横梁始终监测试验力变化,检测到由于夹具或手的触碰引起试验力的变化时,将紧急停止横梁的移动。通过行程限位开关限制横梁的移动范围,可以有效地防止横梁和夹具碰撞。装置具有自检功能,能实时监视传感器放大器的校正信息、试验机运行状态、电源电压、通信状态等,出现异常时立即发出通知。3、获得测试结果更加便捷多功能转接头将夹具连接到载荷传感器,可轻松连接拉伸夹具、压缩夹具、弯曲夹具等所有夹具。无需更换较重的转接头,使试验夹具的更换更简单易行,还可以将小容量的载荷传感器与其连接,在安装大容量载荷传感器的状态下,可以使用小容量的载荷传感器进行试验。配置带LCD触摸屏液晶显示板的智能控制器,实现试验前夹具间距的调整、试验中测量值的显示等多种操作和信息显示。可根据环境选择声音,支持语音提示,防止人员误操作。全新软件TRAPEZIUMX-V兼顾“简单操作”和“高级功能”,共5种可选软件具有可处理各种试验场景的灵活界面,配备视觉向导功能、可轻松设置试验条件,多种报告格式、更方便用户使用。创新点:1、配有大型LED液晶显示触摸屏的智能控制器。能配合场景来显示合适的按钮和信息,实现试验前夹具间距的调整、试验中测量值的显示等多种操作和信息显示,可手动操作气动、液压夹具的开闭,用设计的操作音辅助操作。通过声音通知机器的状态使操作变得容易,比如通过声音通知机器试样的尺寸测量。音色可选,根据操作环境选择易听到的声音。2、配置了多用途连接件。可有效减少连接件和较重试验夹具的更换次数,并可以安装小容量的载荷传感器,可以减轻重物安装的作业强度和危险性。高刚性和高同轴度框架的设计,确保可以达到ASTME1012的10级精度。岛津精密电子万能材料试验机AGX-V系列
中外运空运发展股份有限公司与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司共同设立合资企业的公告本公司及董事会全体成员(在此发表异议声明的除外)保证信息披露的内容真实、准确、完整,没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。重要提示:1、标的名称:成立合资公司2、金额:拟设立的合资公司注册资本为人民币5000万元,公司出资人民币2500万元,占注册资本的50%。3、期限:20年一、对外概述中外运空运发展股份有限公司董事会于2010年4月12日以书面方式向全体董事发出于2010年4月22日在北京市顺义区北京天竺空港工业区A区天柱路20号外运发展物流园办公楼5层会议室召开第四届董事会第十四次会议的通知。本次董事会如期举行,应参加表决董事8人,实际参加表决董事8人。董事虞健民先生因另有公务未能亲自出席本次会议,书面委托董事郭盛先生代为出席并表决,独立董事王建新先生未能亲自出席本次会议,书面委托独立董事崔忠付先生代为出席并表决,会议由董事长张建卫先生主持。公司监事会成员列席了会议,并对会议的通知、召集、召开、表决的程序以及会议内容、表决结果的真实性、合法性进行了监督,会议符合《公司法》及《公司章程》的有关规定。会议审议通过了《关于与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司共同设立合资企业的议案》,同意公司与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司共同人民币5000万元设立合资企业,从事各种精密机械设备的特殊拆卸、包装、移动、安装服务及综合运输服务业务。本公司使用自有资金出资人民币2500万元,占合资企业注册资本的50%。授权公司总经理负责签署相关文件并处理后续事宜。表决票8票,赞成票8票,反对票0票,弃权票0票。公司独立董事在董事会召开之前对该事项进行了了解,并在本次董事会上投了赞成票。本次对外不需经公司股东大会审议。本次不构成关联交易。二、协议主体的基本情况中外运空运发展股份有限公司(以下简称本公司)成立于1999年10月11日,是经国家经贸委国经贸企改[1999]939号文批准,由中国对外贸易运输(集团)总公司作为主要发起人,联合中国机械进出口(集团)有限公司等企业,以发起设立方式设立的股份有限公司。本公司注册资本为人民币90,548.172万元。本公司属于物流运输行业,具体涉及国际货运代理业、航空快递业和国内物流综合服务。公司注册地址:北京市顺义区天竺空港工业区A区天柱路20号。法定代表人:张建卫。佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司(以下简称上海佳晟)是新加坡佳晟集团在中国的全资子公司。成立于2004年3月,注册资本401万美元。主要业务范围是精密仪器搬运、特殊设备定位、温控物品运输、设备的吊装、集装箱卸货等。经过5年多的发展,上海佳晟已顺利通过OHS18001:1999(职业健康与安全)、ISO14001(环境)和ISO9001:2000(质量)的体系认证。该公司在搬迁、安置工程的策划与执行方面,拥有丰富的经验与专业技能,拥有最先进的作业工具,可运输、搬运、安装极为精密的机械设备。公司法定代表人:杨昔璋。三、标的基本情况1、经营范围:主要经营精密仪器、设备的维修、售后服务和咨询服务 相关包装木箱制作 电子元器件批发等业务。2、出资方式:公司与上海佳晟各占50%股权。其中公司以现金进行出资,资金全部来源于公司的自有资金 上海佳晟以固定资产出资,出资额以资产评估机构确定的评估值为准。如果评估值高于2500万元人民币,则以2500万元人民币计作乙方的出资额,评估值高于2500万元人民币的部分计入公司的资本公积金。固定资产包括房屋建筑物、车辆及电子设备等,账面价值为2,231.51万元 3、预计动态回收期(Pt):8年4、项目内部收益率:14.38%四、对外合同的主要内容合同甲方:外运发展 合同乙方:上海佳晟(1)、出资的约定具体见合资合同第二条,主要内容为:甲方以人民币现金方式出资,出资额为[2500]万元人民币,占公司注册资本的[50]% 乙方以机器设备方式出资,出资额相当于[2500]万元人民币,占公司注册资本的[50]%。(2)、不竞争条款约定具体见合资合同第五条。双方承诺在合资公司经营期。